超高精度电铸造微细管@@

照片产品@@@@：Φ0.015mm

组成材质@@：不锈钢@@、铍铜@@等@@@@

薄膜材质@@：镍@@、铜@@、金等@@@@

外径尺寸@@：0.03mm

一般公差@@：±0.005mm

精密公差@@：0.0005mm（更高精密也对应@@）

总长@@：2000mm

随着集成电路规模的日@@益增大@@，元器件越来越小@@，各种微电子电路的尺寸间距@@、引线都已突破微米向纳米前进@@，这就产生了超微加工技术@@。

这种技术的关键是形成微加工区和引线光刻技术@@。为了提高加工精细水平@@，由传统的接触掩膜光刻发展到投影光刻@@，并采用波长短的紫外光同步辐射@@或电子束作为光@@（辐射@@）源@@，用它们进行曝光可以获得更高的分辨能力@@。与超精细光刻技术配合的超微加工技术还有自对准技术@@、离子注入掺杂@@、激光淀积布线@@。今后的微细加工方向@@，将是对这些装置进行改良@@，开发分辨能力更高的抗蚀剂@@，以及采用能看到原子的扫描隧道显微镜@@STM和场离子显微镜@@FIM等@@。

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